1、定期更换灯丝,清洗冷规。
2、定期更换机械泵油,适时对机械泵加油。
3、如加液氮,需定期清洗冷阱。
4、拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。
5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。
当冷规指针已过1×10-2Pa,按灯丝启动,灯很亮,发射电流无指示,量离子源插头①②足不通,即为灯丝断,灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。
1、停机换灯丝:可直接取下离子源更换灯丝,装好后按正常开机步骤进行。
2、不停机换灯丝:关冷规,关抽速阀,取离子源插头,取下离子源,更换灯丝后装上离子源,插离子源插头,此时“加速电压”示值不应有变化,“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符,则是离子源内有短路,应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意:阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟),全开节流阀,等真空抽上后,关闭节流阀,将“粗抽”转向“前置”,开抽速阀,开冷规,等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝,调氦峰。
氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净,清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口,尽量靠近电离盒,但不能短路,三根引线间也不能相互短路。
原创作者:北京爱欧德仪器设备有限公司
第8年